山東省濰坊市電子行業(yè)廠房?jī)艋瘷z測(cè)內(nèi)容和方法--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 制藥廠凈化工程:制藥廠凈化控制的三大目標(biāo)是潔凈度,氣閘室廣泛采用六級(jí)標(biāo)準(zhǔn),潔凈室無(wú)交叉污染得到控制。。CFU指的是潔凈室之中活菌的數(shù)量。。工程需要獲得*GMP。有完成了這三個(gè)目標(biāo),才是一個(gè)合格的凈化工程。工程系統(tǒng)需要5桿風(fēng)機(jī)值班,由藥檢局動(dòng)態(tài)監(jiān)控,靜態(tài)驗(yàn)收之后使用。
電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分,潔凈廠房?jī)艋療o(wú)塵車(chē)間建設(shè)完成后,能否達(dá)到設(shè)計(jì)目的(滿(mǎn)足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求,符合GMP的要求),需要通過(guò)實(shí)踐檢則來(lái)確認(rèn)故數(shù)據(jù)。
電子行業(yè)廠房?jī)艋瘷z測(cè) 潔凈室測(cè)定的程序大致如下:風(fēng)機(jī)空吹→室內(nèi)清掃→調(diào)整風(fēng)量→裝中效過(guò)濾器→安裝高效過(guò)濾器→系統(tǒng)運(yùn)行→高效過(guò)濾器檢漏→調(diào)整風(fēng)量→調(diào)整室內(nèi)靜壓差→調(diào)整溫濕度→單相流潔凈室截面平均速度、速度不均勻的測(cè)定→室內(nèi)潔凈度測(cè)定→室內(nèi)浮游菌和沉降菌的測(cè)定→生產(chǎn)設(shè)備有關(guān)的工作和調(diào)整。
送風(fēng)口風(fēng)速米/秒: 1.孔板孔口3~5; 2.側(cè)送風(fēng)口: (1)貼附射流2~5; (2)非貼附射流同側(cè)墻下部回風(fēng)1.5~2.5,對(duì)側(cè)墻下部回風(fēng)1.0~1.5。
噪聲測(cè)量要求:高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測(cè)室中心1點(diǎn);面積在15平方米以上,還應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn),距側(cè)墻各1米,測(cè)點(diǎn)朝向各角 二、檢測(cè)周期:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的測(cè)試的*長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)間隔;空氣潔凈度等級(jí)1-5級(jí),*長(zhǎng)時(shí)間間隔6個(gè)月;空氣潔凈度等級(jí)6-9級(jí),*長(zhǎng)時(shí)間間隔13個(gè)月;風(fēng)速或風(fēng)量,*長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)12個(gè)月;靜壓差,*長(zhǎng)時(shí)間間隔12個(gè)月;
電子行業(yè)廠房?jī)艋瘷z測(cè) 電子潔凈車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè)),1000級(jí)(小于35個(gè)),10000級(jí)(小于350個(gè)),100000級(jí)(小于3500個(gè))。
因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電,會(huì)損壞CMOS集成度。一般來(lái)說(shuō),電子車(chē)間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度應(yīng)控制在50-60之間(特殊潔凈車(chē)間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。此時(shí),能有效消除靜電,讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車(chē)間是電子制造潔凈室的重要組成部分。
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