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通過**轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)與怠速功能，實(shí)現(xiàn)節(jié)能和小型化。有助于降低運(yùn)行成本。此外，還可選擇耐腐蝕性材料選配件，從預(yù)真空鎖、SEM等輕負(fù)荷用途到腐蝕性工藝，能夠廣泛滿足各種不同應(yīng)用需求。
| 設(shè)備名稱 | 單位 | ESR20N | ESR30 | ESR30N | ESR500W(N) | |
| 排氣速度 | L/min | 1,300 ~ 2,000 | 3,000 | 3,000 | 46,000 | |
| 極限壓力 | Pa | 2.0 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 連接口徑 | 吸氣口 | NW40 | NW50 | NW50 | ISO160 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 極限壓力時(shí)功率概值 | kW | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| 冷卻水 | 流量 | L/min | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 溫度 | ℃ | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | Max. 30 | |
| N2 | 流量 | Pa?m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
| 電源 相／電壓／頻率 | 200V機(jī)型 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V機(jī)型 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 電源容量 | kVA | 4.0 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | |
| 質(zhì)量概值 | kg | 90 | 190 | 190 | 500 | |
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