VE系列靜電容量式微小位移傳感器可高精度測(cè)量金屬等導(dǎo)體與傳感器之間距離的非接觸式微小位移，振動(dòng)傳感器。汽輪機(jī)，電動(dòng)機(jī)，壓縮機(jī)，機(jī)床等機(jī)械的轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸振動(dòng)或面的波動(dòng)測(cè)量，移動(dòng)中物體的厚度，寬度的測(cè)量與控制方面是非常有效的測(cè)量工具。不僅可以測(cè)量位移量，偏曲量，彎曲量等也可以測(cè)量或用于相應(yīng)的控制系統(tǒng)。
非接觸式測(cè)量，不會(huì)對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)與振動(dòng)物體產(chǎn)生負(fù)荷影響，由此對(duì)于被測(cè)物體的振動(dòng)模態(tài)也不會(huì)產(chǎn)生任何影響。
共有測(cè)量范圍20μm ～ 8 mm 的10種類型的傳感器。被測(cè)對(duì)象為金屬導(dǎo)體時(shí)，材質(zhì)不同也不需要進(jìn)行再校準(zhǔn)處理即可測(cè)量
VE系列靜電容量式微小位移傳感器可與VT-5200/5700系列位移計(jì)或CL-5610系列厚度計(jì)配套使用。

特長(zhǎng)

不受被測(cè)物的顏色，表面粗燥度，反射率以及環(huán)境光線的影響。
非接觸測(cè)量，對(duì)被測(cè)物體沒有影響。
傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單經(jīng)久耐用，適用范圍廣。
測(cè)量對(duì)象為導(dǎo)體時(shí)，材質(zhì)不同也不需要進(jìn)行再校準(zhǔn)處理即可測(cè)量
（金屬以外硅，碳化復(fù)合物，水面等也可測(cè)量

構(gòu)成
＊ VE系列靜電容量式微小位移傳感器可與VT-5200/5700系列非接觸靜電容量式位移計(jì)或CL-5610系列非接觸靜電容量式厚度計(jì)配套使用。測(cè)量對(duì)象與測(cè)量精度請(qǐng)參閱各產(chǎn)品的說明頁面。

＊ 使用VE系列傳感器時(shí)，為了補(bǔ)償配套儀器的個(gè)體偏差，傳感器與配套儀器（位移計(jì)或厚度計(jì)）需要1對(duì)1進(jìn)行校準(zhǔn)匹配，要變更交換使用其他傳感器時(shí)（包括同型號(hào)）也要進(jìn)行再校準(zhǔn)。

測(cè)量對(duì)象

測(cè)量對(duì)象如是導(dǎo)體即可測(cè)量，例如以下材質(zhì)物品。
■金屬板  鐵，鋁，鋼等。
■硅片  與金屬同樣測(cè)量。
■銅箔基板  可以測(cè)量蝕刻處理前的兩面銅箔基板的厚度。
■膏狀物體  高溫?zé)商幚砬暗碾姵貥O板等膏狀物體。
■碳化材料板  各種碳化材料板狀物。
　

測(cè)量時(shí)的注意事項(xiàng)

■耐熱絕緣鋁材  經(jīng)陽極氧化處理的耐熱絕緣鋁板，表面為絕緣膜測(cè)量會(huì)發(fā)生不穩(wěn)定現(xiàn)象。
■表面涂裝材料  表面使用絕緣物進(jìn)行涂裝處理的材料，測(cè)量結(jié)果含有誤差。
■圓形物體  VE系列傳感器是以測(cè)量平面物為前提的傳感器，測(cè)量曲面時(shí)會(huì)產(chǎn)生誤差。
■表面粗燥物  表面粗燥物的測(cè)量結(jié)果，比較使用接觸式測(cè)量的結(jié)果要小一些。使VE系列傳感器測(cè)量結(jié)果等同于將表面的凹凸進(jìn)行了平均，如果表面非常粗燥，有可能不能測(cè)量。
■多孔狀物體  如果被測(cè)物為多孔狀物體，根據(jù)孔分布率測(cè)量結(jié)果小于實(shí)際數(shù)據(jù)。　

絕緣體的測(cè)量

測(cè)量對(duì)象為絕緣體時(shí)，CL-5610系列非接觸靜電容量式厚度計(jì)配套CL-0300絕緣體測(cè)量軟件（選配），可高精度測(cè)量絕緣體（玻璃，藍(lán)寶石，水晶，塑料，塑料膜等）的厚度。

簡(jiǎn)要規(guī)格

■ 標(biāo)準(zhǔn)型
   　     
型號(hào) VE-5010 VE-1020 VE-1520 VE-3020 VE-8020
測(cè)量范圍（μm）※00 150 ～ 1500 300 ～ 3000 800 ～ 8000
外形（mm）※2 φ6 φ8 φ10 φ20 φ40
電纜長(zhǎng)度  1.5m（電纜一體型）  信號(hào)電纜VL-1520/1521 1.5m （另購(gòu)）
溫度系數(shù)  k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5
使用溫度范圍※3  0 ～ +80 ℃

■ φ10mm通用基柱配套型

　     　   
型號(hào) VE-2011 VE-5011 VE-1021 VE-3021
  VE-8021
測(cè)量范圍（μm）※1 20 ～ 200 50 ～ 500 100 ～ 1000 300 ～ 3000 800 ～ 8000
外形（mm）※2 φ3 φ6 φ8 φ20 φ40
電纜長(zhǎng)度  信號(hào)電纜VL-1520/1521 1.5m （另購(gòu)）
溫度系數(shù)  k1＝1.7×10-5、k2＝3.4×10-5
使用溫度范圍※3  0 ～ +80 ℃
※1 測(cè)量范圍指?jìng)鞲衅鞯臏y(cè)量面到被測(cè)物的大間距。
※2 被測(cè)物的被測(cè)面積必須大于傳感器的測(cè)量面的面積。
※3 使用溫度范圍指?jìng)鞲衅骺梢詼y(cè)量使用的溫度范圍，不是確保傳感器的直線性狀態(tài)的溫度范圍。
   確保傳感器的直線性狀態(tài)的溫度范圍＋23 ℃±2 ℃。VE系列的溫度特性請(qǐng)參閱[ VE傳感器溫度特性 ]的說明

配套信號(hào)電纜（另購(gòu)）

VL-1520（兩端直型接頭，電纜長(zhǎng)度1.5 ｍ） 
VL-1521（L型接頭 - 直型接頭，電纜長(zhǎng)度1.5 ｍ） 
　
VE傳感器溫度特性
ΔＤ≒ −(K1×l + K2×D) Δt

K1 ： 傳感器殼體材料的線膨脹率（1.7×10-5）
K2 ： 傳感器電極材料的面膨脹率（3.4×10-5）
Δt ：溫度變化
D ：測(cè)量間距
ΔＤ ：測(cè)量值變化